次日，早。

江阳刚刚来到半导体实验室。

京机厂那边。

就送来了j5060通过最终测试的消息。

至此。

他们终于拥有了，能够完成制备，且满足光刻要求硅片的设备。

会议室内。

王寿吾正在对这段时间的研究成果，进行总结。

除开j5060外。

完成了化学机械抛光。

并利用两台显微镜加一个紫外曝光灯，搭建了“土光刻机”。

虽说只能勉强实现10微米的线宽。

但也能满足最低图形分辨率的须求。

当然。

也不是所有的研究都一帆风顺。

王寿吾道：

“光刻和扩散，是我们现在面临的两大难题。”

“手工光刻误差太大。”

“而开关扩散的掺杂，不仅存在波动，同一晶体管上的阈值电压差异——””

他说完后。

众人陷入沉思。

江阳也没有着急开口，而是等待众人讨论。

毕竟他不能什么都解决。

没过多久。

很快便有人开口，道：

“我认为，可以尝试从光刻胶上取得突破。”

听到他的话。

所有人都下意识地看向江阳。

光刻胶这个概念。

还是江阳提出来的。

在此之前，他们都是以合金法和台面工艺制作晶体管，无需光刻胶。

王寿吾颌首道：

“汤教授，您请继续。”

闻言，汤定远道：

“江教授为我们介绍过光刻胶的作用。”

“它直接决定。”

“集成电路的最小特征尺寸、良率和工艺复杂度—”

他说完后。

迟疑了片刻。

接下来的话，等于是在反对江阳提出的方案。

这时，江阳笑道：

“汤教授，如果您有更好的方法，但说无妨。”

汤定远点了点头，道：

“那我就直说了。”

“最后很大概率无法满足我们的研制需要—”

沥青胶是负性光刻。

紫外线引发交联反应，形成三维网格结构后。

曝光局域变得难溶于溶剂，且会被溶剂渗透，引发溶胀。

虽说面前也能实现光刻。

但结果几乎是可以预见的不如人意。

汤定远说完后，又道：

“原本我也不觉得有问题。”

“毕竟光刻对我们所有人来说，都是个新东西。”

“但江教授的一句话，给了我启发。”

“如果让曝光局域发生光解反应，效果会不会更好——”

听完汤定远的想法后，众人陷入沉思。

江阳面色不变。

心中却惊讶不已，暗道：

“不愧其中，能一句话中想出这么多的东西。”

汤定远，华国半导体学科创始人之一。

还是红外技术研究的奠基人。

曾以三份书信，重塑华国红外事业的战略眼光，研究能力毋庸置疑。

这时。

下面一个和汤定远差不多年纪的中年男人，道：

“汤教授，您说得确实有道理。”

“但沥青胶我们好歹知道是什么。”

“光解反应的光刻胶，只知道一个原理，恐怕不太容易研制。”

他说完后。

会议室内的众人不由得点了点头。

光解反应或许更好，可能多久能实现，没人说得准。

汤定远道：

“但它的效果是毋庸置疑的。”

“光解反应后。”

“生成羧酸与硷液快速反应，能够消除溶解过程中的溶胀。”

听到他的话后。

会议室内，当即开始讨论起来：

“我觉得汤教授说得不无道理。”

“的确，抛开可行性不谈，技术上还是很有创新性的。”

“问题是你都抛开可行性了，还研究什么？”

众人你一言，我一语，说出自己的想法。

不过大部分人。

并不看好汤定远的建议，毕竟可行性太低。

当然。

如果只是先研究着，不作为主要技术攻关方向。

那倒是可以。

毕竟光刻胶以后一定还是要去突破的。

就在讨论得差不多时。

王寿吾看向江阳，开口道：

“大家先安静，我们听一听江教授的意见吧？”

他的话音刚落。

会议室内嘈杂的声音，瞬间如潮水般消退。

眼看江阳从座位上站起来，每个人都下意识地拿出笔记本。

江阳走上台，道：

“其实我觉得汤教授的想法很不错，或许会是未来光刻胶的正确方向。”

“理论上来说。”

“依赖光化学转化的光刻胶，精度要比沥青胶至少高一个数级。”

他说完后。

汤定远的脸上，露出几分兴奋的红润之色。

毕竟他们一直依靠江阳的帮助，才创建起研究的基础理论体系，缺少自身的创新。

当然，这不是说不好。

有清淅的研究方向，大家高兴还来不及。

但如果只会完全按照江阳的方案来，缺少科学的研究思想，难保后面不会出问题。

王寿吾想了想，道：

“那这样吧，我们根据不同的方向，进行分组。”

“一组由汤教授领导，负责研制具备光解反应特性的光刻胶。”

“另一组我来负责，去继续沥青胶的研制，权当做个保险。”

他本来觉得汤定远的想法冒进了些。

但江阳都肯定了。

那么无论如何，都是要试试的。

随后。

众人又就后续的具体研究思路，讨论了许久。

直到中午。

会议才终于结束。

江阳在饭堂吃过午饭后，并没有和之前一样继续研究。

而是选择返回京钢院。

毕竟现在的研究，已经进入到一个暂时的瓶颈阶段。

要将晶圆加工的工艺消化并熟练，需要一定的时间。

比如光刻工艺上。

“土光刻机”就极其依赖人工的经验做辅助。

如果拔苗助长，强行推进，恐怕会适得其反。

除非能有更加先进的接触式光刻机，才能够解决问题。

但以华国现在的条件，想搞接触式光刻机，投资大周期长，并不是很好的选择。

回到学校。

江阳刚刚来到大门。

就看到三两成群，结伴进出的学生们。

看到他。

都会停下来，道：

“江教授好！”

对于学生们的问好。

江阳开始的时候，还会一一打招呼。

但人数多了。

也只能点主表示回应。

就在他一边点主，一边往里走的时仞。

忽然有一道声音，问道：

“江教授，您这个学期会傍我们授课吗？”